Japanski proizvođač kemikalija JSR, koji čini otprilike jednu petinu globalnog tržišta fotorezista, planira izgraditi svoj prvi proizvodni pogon na Tajvanu i raditi s TSMC-om na razvoju naprednih fotorezista.Kompanija je početkom aprila osnovala zajedničko ulaganje sa jednom tajvanskom firmom i planira da počne proizvodnju već 2028. godine, uz investiciju od desetine miliona dolara.
Tvornica bi pomogla JSR-u da smanji jaz sa svoja dva glavna japanska rivala na tržištu Tajvana.Tokyo Ohka Kogyo Co. (TOK) i Shin-Etsu Chemical Co. već imaju proizvodne pogone na Tajvanu i rade direktno sa TSMC-om na razvoju fotootpornosti.
Fotorezist je materijal osjetljiv na svjetlost koji se koristi u litografiji za prijenos uzoraka kola na silikonske pločice.Na naprednim procesnim čvorovima, fotorezisti moraju biti precizno podešeni za rad sa specifičnom opremom za litografiju i hemijom za jetkanje.To podešavanje zahtijeva ponovnu komunikaciju između dobavljača fotorezista i ljevaonica.
JSR trenutno razvija proizvode za tajvanske kupce isporukom uzoraka iz svojih pogona u Japanu, Sjedinjenim Državama i Belgiji, pri čemu svako povratno putovanje može trajati nekoliko sedmica.To usporava proces iteracije, dok se njegovi konkurenti mogu kretati brže iz lokalnih proizvodnih baza.Izgradnja fabrike na Tajvanu omogućila bi inženjerima JSR-a da bliže sarađuju sa TSMC-ovim istraživačkim i razvojnim timovima, što je model koji već koriste TOK i Shin-Etsu Chemical.Osim fotorezista, JSR također razmatra proizvodnju drugih materijala u postrojenju na Tajvanu, uključujući abrazive koji se koriste za glačanje poluvodičkih supstrata.
Širenje JSR-a na Tajvanu dio je šireg plana rasta.Kompanija također gradi prvi svjetski pogon za masovnu proizvodnju otpornika na metalni oksid, ili MOR, u Južnoj Koreji.Očekuje se da će fabrika početi sa masovnom proizvodnjom 2026. godine i isporučivat će MOR na bazi kalaja za EUV litografiju Samsung Electronics i SK Hynix.
U poređenju sa konvencionalnim hemijski pojačanim otpornicima koji se koriste u starijim procesnim čvorovima, MOR može efikasnije apsorbovati EUV fotone, omogućavajući veću rezoluciju i manje defekta uzorka.JSR je kupio Inpriu, pionira u tehnologiji MOR-a, 2021. godine i od tada razvija formulacije na bazi kalajnog oksida.Kompanija također planira prodati MOR TSMC-u, pozicionirajući se za novu generaciju EUV i High-NA EUV proizvodnih linija potrebnih za TSMC-jeve 2nm i naprednije procesne čvorove.
Japanske kompanije zajedno čine oko 80% globalnog tržišta fotorezista i gotovo u potpunosti dominiraju vrhunskim EUV segmentom.Kineske kompanije su postigle napredak u KrF i i-line fotorezistima, ali njihova tržišna penetracija u ArF i naprednijim kategorijama ostaje vrlo niska.
“Kineske kompanije predstavljaju prijetnju, ali će im trebati neko vrijeme da nas sustignu i preuzmu tržišni udio”, rekao je Toru Kimura, viši izvršni direktor zadužen za poslovanje s elektronskim materijalima JSR-a.Čini se da je strategija JSR-a usmjerena na održavanje vodstva kroz izgradnju odnosa zajedničkog razvoja u tehnički najzahtjevnijim područjima tržišta.